光谱共焦位移传感器是一种测量位移变化的高精度测量设备，其工作原理是基于共焦光学技术和光谱分析技术的结合。
在传统的共焦系统中，一个点光源（通常为激光）通过一个聚焦透镜照射到样品上，同一个透镜也用来收集反射或透射光。由于共焦孔径的存在，只有来自聚焦平面的光能够最终靠孔径被检测器接收。随着样品的位移，聚焦平面也随着移动，导致聚焦平面之外的光线强度急剧下降。这样，光强和样品表面的距离之间建立了一个非常敏感的依赖关系，可拿来测量位移。
光谱共焦位移传感器则是对共焦系统的一个逐步发展。它使用白光源代替单一波长的激光，并且利用光谱仪来分析反射光的光谱。在光谱共焦系统中，由于白光源包含了连续的光谱，不同波长的光将在样品表面的不同深度上聚焦。这在某种程度上预示着，通过一系列分析反射光的光谱，能确定出样品表面的精确位置。
由于这种方法获得的光谱暗示了样品的位移信息，因此对于任何由样品表面位置变化引起的光谱变化，都可以被转化为位移读数。光谱共焦位移传感器的优点是它的高分辨率和高灵敏度，可以有效的进行亚微米乃至纳米级的位移测量，很适合精密工程和科学研究应用。
