我国近年来向着科技自立自强的方向迈出了坚决的脚步,核心技术不断打破,高端仪器设备持续出现。近来音讯,由姑苏博众仪器科技有限公司(简称博众仪器)自主研制的200kV透射电子显微镜BZ-F200已确认进入了小批试产阶段,这标志着国产首台200kV透射电子显微镜获得重大打破。透射电子显微镜被列为受限制的“35项要害技术”之一,是半导体、生命科学、材料科学等范畴不可或缺的高端科学仪器,国内市场需求巨大,但长期以来悉数依靠进口,因而国产代替势在必行。

  博众仪器自成立以来,专心于透射电子显微镜产品的研制,霸占了电子光学体系模块规划、超精细加工与安装、合轴联调、纳米级精度测角台等一系列核心技术,于2022年7月完成了工程样机的研制,达到了预期方针,并在半导体、生命科学、材料科学等范畴得到了使用验证。尔后该公司又开发了第二代透射电子显微镜产品 BZ-F200,其功能指标同国外同类电镜水平适当,首台商业化产品交给在即。这期间公司完成了超高安稳度高压电源、场发射电子枪、热场(肖特基)电子源、高安稳度恒流源等核心技术与要害零部件的自主可控。

  图左一电子源针尖与高温比色图左二电子加速陶瓷管图右一 200kV热发射电子枪图右二超高安稳度高压电源

  据了解,BZ-F200这款产品可依照每个用户需求选配热发射电子枪或热场发射(肖特基)电子枪,可完成EDS、STEM等多种功用。其作业电压除200kV外,还能够切换至80kV、120kV等档位。BZ-F200的镜筒选用四级聚光镜照明体系模块规划,可完成微米束和纳米束、平行束和集聚束形式切换。

  透射电子显微镜的研制得到了社会各界的广泛重视与支撑。近来,全国政协委员、我国物理学会常务理事、清华大学物理系教授段文晖院士及清华大学物理系陈曦教授一行莅临博众仪器调查国产透射电子显微镜产业化开展状况,对博众仪器所获得的重大成果给予了高度评价,对非公有制企业热心参与国家战略给予了充分肯定,并对加速市场化推行提出了殷切期望。

  姑苏博众仪器科技有限公司表明,未来将持续加大研制投入,不断的进步产品功能和技术水平,一起拓宽根据电子束核心技术的多种类产品,为我国在高端仪器范畴的开展注入新生机!