在直读光谱剖析过程中为了更好的进步定量剖析的准确度,一般丈量谱线的相对强度。即在被剖析元素中选一根谱线为剖析线,在基体元素或定量参加的其它元素谱线中选一根谱线为内标线,别离丈量剖析线与内标线的强度,然后求出它们的比值。该比值不受试验条件改变的影响,只随试样中元素含量改变而改变。这种丈量谱线相对强度的办法,称为内标法。存剖析时,测得试样中线对的相对强度,即可由校准曲线查得剖析元素含量。
可是并不是任何元素均可作内标,关于内标元素、内标线和剖析线对的挑选还一定要具有一些条件,如剖析线对应具有相同或附近的激起电位和电离电位,内标元素与剖析元素应具有附近的熔点、沸点、化学活性及附近的原子量等。