现在我国科研与工业部门所用的扫描电镜严峻依靠进口,每年花费上亿美元收购的扫描电镜,首要产自美、日、德和捷克等国。国产扫描电镜商场占有率只占约2%-5%,并且悉数会集在低端产品。
“尽管商场不是特别大,但它是多个科研范畴要害的剖析用仪器设备,国产高通量扫描电镜的面世,从规划思路上勇于创新,破解‘卡脖子’技能封闭,起到及其重要的效果。”
在方针引导上、扶持培养大将“卡脖子”技能作为重点对象,现在现已挑选出了一批名单,下一步还将加大扶持力度,会集力量在优势范畴培养“杀手锏”,扫描电镜技能便是这里边之一。
超大区域全息成像形式,坚持高分辩率情况下对样品进行全主动无遗失信息收集,并可绘制成Google地图式全景信息阅读。
完成全主动样品载入体系,搭载有超高清全景光学导航体系,具有全球最快的二次电子(SE)加背散射电子(BSE)同步成像速度,比传统的产品快了10倍以上,能够7×24小时主动接连图画收集,为创立大数据供给了牢靠的保证。
电镜在1千伏加快电压下可取得1.4纳米、10千伏下可取得1.0纳米的分辩才能。1纳米相当于头发丝直径的10万分之一。
“该体系可对工程级资料来全体纳米晶粒、成分散布计算等电镜微区剖析,视频级纳米剖析才能使扫描电镜从传统含义的纳米‘照相机’跃变为纳米‘摄像机’。”
通过几年的展开,聚束科技现已聚集了70多人的开发团队展开技能攻关,取得国家发明专利、实用新型专利、世界PCT专利合计30余项(篇),领航者扫描电镜在国内装机数量也到达10台(套),并出口海外,完成了在国内严重科研项目上的示范性使用,下一步,扫描电镜设备还将进入到某闻名半导体芯片制作商等公司的试验室里,帮忙进行开发剖析,助力高端制作。