“OPC是EDA(电子规划自动化)工业软件的一种,没有这种软件,即便有光刻机,也造不出芯片。从基础研讨到产业化使用,咱们团队整整走了十年。十年磨一剑,便是要处理芯片从规划到制作的卡脖子问题。”
在光谷,华中科技大学教授刘世元创建的宇微光学软件有限公司(以下简称“宇微光学”),已成功研制全国产、自主可控的核算光刻OPC软件,填补国内空白。现在正在做集成与测验,并到芯片制作商做验证。
刘世元介绍,光刻是芯片制作中最为要害的一种工艺,经过光刻成像体系,将规划好的图形转移到硅片上。跟着芯片尺寸不断缩小,硅片上的曝光图形会发生畸变。在90nm乃至180nm以下芯片的光刻制作前,都一定要选用一类名为OPC(光学接近校对)的算法软件来优化。没有OPC,一切IC制作厂商将失掉将芯片规划转化为芯片产品的才能。
刘世元是华中科技大学集成电路丈量配备研讨中心主任,一起也是光谷实验室集成电路丈量检测技能创新中心主任。他早年师从华中理工大学前校长、闻名机械学家杨叔子院士,于1998年获工学博士学位。
2002年,从英国访学归国后不久,刘世元在学院差遣下,作为最早的几个技能骨干之一,加盟上海微电子配备有限公司(SMEE),承当国家863严重专项——“100nm光刻机”研制使命,为整体组成员、操控学科负责人。经过3年多的斗争,他组建了SMEE第一个操控工程实验室,处理了扫描投影光刻机中掩模台、工件台、曝光剂量等同步操控的技能难题。
2005年,从上海回到校园之后,刘世元在探索中逐渐找准了自己的学术定位:面向IC制作需求,安身先进光刻与纳米丈量基础理论及学术前沿展开研讨。2010年头,他清晰选定了两个主攻研讨方向:面向IC纳米制作的核算光刻与核算丈量。十多年来,他和团队在该范畴的基础理论与技能创新上做了许多工作,相继取得国内外学术界和产业界同行的注重和认可。
“2013年,我第一次赴日本京都参与第6届世界光谱椭偏学大会,其时还只能当听众;到了2016年,在德国柏林举行的第7届世界光谱椭偏学大会上,我应邀做了大会主题陈述,成为该学术会议兴办23年来第一位做大会主题陈述的华人学者。”刘世元回想。
2020年10月,刘世元建立宇微光学公司。现在,团队除了2名行政人员外,悉数为研制人员,他们来自我国、美国、俄罗斯等不同国家,在相关范畴均为顶尖技能专家,30%以上成员具有博士学位,有着非常丰富的职业经历。
“创业与科研不同,要面向商场,在短期内构成产品,并取得客户和投资人的认可,面对很多危险和不确定性。”刘世元表明,之所以走出舒适区,走上创业路,是期望自己的研讨成果可以终究转化成产品,为国家和社会继续健康发展作贡献。
不久前,宇微光学宣告完结Pre-A轮数千万元融资。本轮融资完结后,宇微光学将逐渐加强各中心模块的集成化与软件产品化,一起对各项软件参数进行标定、测验与验证。
下一步,宇微光学将加速产品推行脚步,加速进入国内外芯片制作厂商商场,力求成为全世界芯片产业链中重要的一环。