光谱仪究其本质是一个“分光”仪器,现在有几种办法来完成分光功用。干流的办法是用光栅作为色散部件,将不同波长的光在空间上分隔,用阵列探测器接纳并输出光谱。另一种办法是用干涉仪调制入射光,用单元探测器接纳被调制了的光,并输出光强随时刻改变的曲线,再用傅里叶变换复原光谱,这便是傅里叶光谱仪。
光谱仪究其本质是一个“分光”仪器,现在有几种办法来完成分光功用。干流的办法是用光栅作为色散部件,将不同波长的光在空间上分隔,用阵列探测器接纳并输出光谱。另一种办法是用干涉仪调制入射光,用单元探测器接纳被调制了的光,并输出光强随时刻改变的曲线,再用傅里叶变换复原光谱,这便是傅里叶光谱仪。
因为在UV-VIS-NIR波段,硅CCD, CMOS阵列的工艺老练,性价比好,再加上无移动部件,可靠性好,因而,简直无一例外地运用光栅色散,阵列探测器检测的办法。只是在波长大于900nm的近红外波段,硅资料真实无法担任,才选用InGaAs线列探测器,可是,至少在现阶段InGaAs线列探测器仍是太贵,所以才有人测验选用傅里叶光谱技能,滚动光栅技能,美国德州仪器公司的DLP(Digital Light Procession)技能,其中心是用MEMS技能制作一个微镜陈设,可以用集成电路芯片组驱动每一个微镜的方向,这样就可以用单元InGaAs探测器,使近红外波段的微型光谱仪本钱下降。另一种思路是怎样把光谱仪做得更小,更廉价,爽性不必光栅分光,尽管功用纷歧定那么好,可是关于有些运用或许就足够了,这基本上便是用滤光片加线列探测器的办法。
就选用光栅分光技能的微型光谱仪而言,其功用首要决定于三个方面,光学规划,光栅的挑选,探测器的选用。
光学规划又与选用的光栅品种有关,现用的光栅有反射光栅和透射全息光栅两大类,选用纷歧样光栅的光谱仪光学规划的具体方案纷歧样。现在的干流是反射光栅,这是因为制作工艺相对老练,因而价格也相对低一些的原因,选用反射光栅,又要做得体积小,选用折叠光路的规划就很天然了,因而,穿插光路Czerny-Turner 结构(Crossed Czerny-Turner)成为商场最盛行的规划;另一类是透射全息光栅,它的首要长处是光栅功率高,导致光学体系的光通量大,关于一些丈量比较弱小的光的运用,或许快速动态进程剖析,不答应长的积分时刻,就倾向于挑选透射光栅,当然,价格相对会贵一些。
以下咱们就剖析典型的穿插光路的Czerny-Turner 结构光谱仪(如图所示)。
图 典型的穿插光路Czerny-Turner光谱仪结构。1为SMA 905接头,2为入射狭缝,3为长通滤光片(可选),4为准直反射镜,5为反射光栅,6为会聚反射镜,7为柱形会聚透镜(可选),8阵列探测器,9为线性可变滤光片阻挠高阶衍射光进入探测器,10为探测器的石英玻璃窗口,替代一般BK7玻璃窗口,用于作业在小于340nm的紫外波段光谱仪(可选)
-待测光束经过狭缝进入光谱仪,狭缝便是成像体系中的“物”,一般为矩形,依据运用的要求,狭缝的宽度可选,较宽的狭缝答应更多的光子进入光学体系,即体系的光通量较大,但这是以丢失分辨率为价值。典型的狭缝宽度在5um-200um之间,高度为1mm。
-从狭缝出射的光是发散的,咱们咱们都期望入射光束的传达方向是可控的,不要散射到不该去的当地,导致杂散光太大,经过准直光学部件,一般是反射镜,将其变为平行光束。
-光栅作为色散元件:这是对光谱仪功用有决定性影响的元件,不同波长的光被衍射到空间不同的方向。光栅的参数包括刻线密度,闪烁视点等,都会影响到光谱仪的功用目标,包括分辨率,波长规模,光栅功率曲线等。
-反射镜作为光束会聚器材,将光栅分光后不同波长狭缝的“像”会聚到阵列探测器不同的像元上。每个像元会接纳到波长规模很窄的光子(15 nm to 0.02 nm,取决于光谱仪的结构)
-探测器阵列:探测器是完成光电转化的重要器材。线阵探测器上的每一个象元的读出数据对应于一个特定的波长规模,在紫外,可见光,短波近红外波段,硅CCD是现在运用最多的探测器,其性价比最好,探测器自身的噪声对光谱仪信噪比的影响。只要在900nm-2500nm的近红外波段才运用InGaAs线列探测器。
-模-数转化电路ADC (Analog-to-Digital Converter):探测器读出电路给出的是电压模仿信号,经过ADC把模仿信号转化为数字信号,将每个像元输出的电压转化为一个特定的数字,这个读数被称为“counts”
ADC器材功用的重要目标是它输出的数字是用多少位二进制数字来表明。一个12位的模数转化电路能将满量程光强度用0-4096(212)个counts来表明。相应的,相同的满量程光强度,假如用16位的模数转化电路其输出则是用0-65535(216)个counts来表明。由此可见ADC器材的位数反映了光谱仪在笔直方向的“分辨率“。(如图xxx所示)ADC的位数越高其输出的读数就可以越”精确“地描绘光谱的强度。
因而,关于一个选用2048个像元的线位模数转化器材的光谱仪,每条光谱曲线个波长和对应光强的数据对,每个光强的数据用一个12位数字表明。这一些数据是光谱的原始数据。
-光谱仪内还包括以微处理器为中心的一些电路,首要包括两部分功用。一方面,发生光谱仪CCD或CMOS探测器所需的操控时序,使探测器按用户设定的作业形式作业;另一方面,完成与PC机的通讯,如从探测器中读出数据并传送到PC端。这些电路的功用,比如,模仿电路的噪声水平、处理器的主频、缓存的巨细和通讯接口的速度,都会对光谱仪的整体功用有重要影响。
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